事業内容

◎事業内容

(1)フッ素樹脂中空糸膜を用いた機器の設計および製作
(2)半導体製造に係る装置の設計および製作
(3)原子力施設の放射性物質処理に係るシステムの構築、装置の設計および製作

 

・脱気装置部門
   リソグラフィ用現像液脱気器
   リソグラフィ用レジスト液脱気器
   リソグラフィ用リンス液脱気器
   液中パーティクルカウンタープロセス用脱気器
   微細インク用脱気器
   気液混合ミキシングモジュール
   等

・半導体装置部門
   薬液温調装置，超純水加熱装置
   薬液フィルターユニット，苛性ソーダ再生装置
   ３００ｍｍシリコンウエハー両面研磨機，スラリー供給装置
   スラリー温調供給システム
   脈動防止用パルセーションダンパー
   等

・原子力部門

原子力発電プラントの機器・配管の除染装置（化学除染、機械除染、電解除染）

除染装置に係る樹脂塔及び遮蔽容器

放射性廃液の処理装置

等


 

・ＳＭ熱交換器部門

多管式フッ素樹脂熱交換器
 

・ＳＭ Ｔｕｂｅ成型部門

    脱気用フッ素樹脂エレメント成型

    パルセーションダンパー用エレメント成型
 

・工事部門

樹   脂    ＰＦＡ，ＰＶＤＦ，ＰＰ，ＰＶＣ，ＦＲＰ  等

金   属    ステンレス，鉄，チタン，鉛  等